半（bàn）導（dǎo）體材料廢氣處理方法

1.半導（dǎo）體材料廢氣簡述

隨著科技的不斷發展，半導體產業在全（quán）球範圍內呈現出蓬（péng）勃發展的態勢。然而（ér），這（zhè）一產業的發展也帶來了一（yī）定程度的環境汙染問題（tí）。半導體材料在（zài）生產（chǎn）過程（chéng）產生有（yǒu）機廢氣汙染物，對環（huán）境造（zào）成了嚴（yán）重汙染。因此，必（bì）須對半導體材料（liào）廢氣進行淨化處理後達標排放。

2.半導體材料廢氣處理方法

半導體（tǐ）材料生產過程中產生有機廢氣等汙（wū）染物。而目前對於（yú）有（yǒu）機廢氣處理（lǐ）方法有很（hěn）多種，常見主（zhǔ）要有活性（xìng）炭（tàn）吸附法、燃燒法、UV光解淨化法等（děng），接下來天浩洋環保小編詳細介紹半導體材料廢氣處理方（fāng）法。

（1）活性炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就是利用多（duō）孔固體吸附（fù）劑（活性碳、矽膠、分子篩等）來處理有機廢氣，這（zhè）樣就能夠通過化學鍵力或者是分子引力（lì）充分吸附有害成分，並且將其吸附在吸附劑的表麵，從而達到淨化有（yǒu）機廢氣的目的。吸附法目前主要應用於大風量、低（dī）濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的（de）低濃度有機廢氣（qì）淨化處（chù）理（lǐ）。

活性炭（tàn）淨化率高（活性炭吸附（fù）可達到90%以上），實用遍及，操縱簡單，投資低。在吸附飽和（hé）以（yǐ）後需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽和以後的活性炭也是需要找專業人（rén）員進行危廢處理，運行費用高。

（2）燃燒法

燃燒法隻在揮發性有機物在高溫及空氣充足的條件下進（jìn）行完全燃燒，分解（jiě）為CO2和H2O。燃燒法適用於各類有（yǒu）機廢氣，可以分為（wéi）直（zhí）接燃燒、熱力燃燒和催化（huà）燃燒。

排放濃度大於（yú）5000mg/m³ 的高濃度廢氣一（yī）般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進行（háng）燃燒（shāo），燃燒溫度一（yī）般控製在1100℃，處理（lǐ）效率高，可以達到95％一99％。

熱（rè）力燃燒法適合於（yú）處理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣（qì）中VOCs濃度較低，需要（yào）借助其（qí）他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所需（xū）的（de）溫度較直接燃（rán）燒（shāo）低，大約（yuē）為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但（dàn）VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒後產生（shēng）的（de）廢氣（qì）直接（jiē）外排會導致二次汙染。

通過熱力燃燒或者催化燃燒法處理有機廢（fèi）氣（qì），其淨化率是比較高的，但是其投資運（yùn）營成本極高。因廢氣排放的點多且（qiě）分散，很（hěn）難實現集中收集（jí）。燃燒裝置（zhì）需要多套且需要很大的占地麵積。熱力（lì）燃燒比較適（shì）合24小時連續不斷運行且濃（nóng）度（dù）較高而穩定（dìng）的廢氣工況，不適合間斷性的生產產線工況。催化燃燒的（de）投資和運營費用相對熱力燃燒較（jiào）低，但淨（jìng）化效率也（yě）相對較低一些；但貴金屬催化劑容易因為廢氣中（zhōng）的雜質（如硫化物）等造成（chéng）中毒失效，而更換（huàn）催化劑的費用很高；同時對廢氣進（jìn）氣條件的控製非常嚴格，否則會造成催（cuī）化燃燒室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解淨化法

UV光解淨化法利用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生遊離氧（即活（huó）性氧），因遊離氧所攜帶（dài）正負電子（zǐ）不平（píng）衡所以（yǐ）需與氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧具（jù）有很強的氧化性，通過臭（chòu）氧對有機廢氣、惡（è）臭（chòu）氣體進行協同（tóng）光解氧化作用，使有機廢氣、惡（è）臭氣體物質降解轉化（huà）成低分子化合物、CO2和（hé）H2O。

UV光解淨化法具有高效處理效率，可達到95%以上；適應性強，可適應中低濃度，大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物質的淨化處（chù）理；產（chǎn）品性能穩定，運行穩定可靠，每天可（kě）24小時連續工作；運行成本低，設備（bèi）耗能低，無需專人管理與維護，隻需作定期檢查（chá）。UV光解法因（yīn）采用光（guāng）解原理，模塊（kuài）采（cǎi）取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設備性能安全穩定，特別適（shì）用於化工、製藥等防爆要求高的行業。

以上關於半導體材料廢氣（qì）處理方法介紹（shào），希望可以幫到您，其實對於半導體材料（liào）廢氣處理，一般是需要根據廢氣的濃度、產生量、廢氣成分、如何收集等方麵進行（háng）設計收集處理。如果您有半導體材料廢氣需要淨化處理，可以隨時撥打400 808 2272電話，谘詢天浩（hào）洋環保,為您（nín）提供半導體材料廢氣（qì）處理方（fāng）案及設備。