半導體有機廢氣處理方（fāng）法

1.半導體有機廢氣簡述

隨著半導體產業的快速發展，然而在其生產過程中產生有機廢氣汙染物（wù）。這些廢氣汙染（rǎn）物，未經過淨化處理，直接排放進入空氣中，不僅造成周邊大氣環境汙（wū）染，還會對周圍居住居民（mín）身體健康產生傷害，因此，需要對半導體有機廢（fèi）氣進行收集淨化處理後達標排放（fàng）。

2.半（bàn）導體有機廢氣處理方法

半導體（tǐ）在生產過程中產（chǎn）生有機廢氣等汙（wū）染物。而目前對於有機廢氣處理方法有很多種，常見主要有活性炭（tàn）吸附法、燃燒法、UV光（guāng）解淨化法等，下麵天（tiān）浩洋環（huán）保小編詳細介紹半導體有機廢氣處理方法。

（1）活性炭吸附法

活性炭吸附（fù）法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、矽（guī）膠、分子篩等）來處理有機廢氣，這樣就能夠通過化學鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，並且將其吸（xī）附在吸附劑的表麵，從而達到淨化有機廢氣的目的（de）。吸附法目前主要應用於大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃（nóng）度有機廢氣淨（jìng）化處理。

活性炭淨化率高（活性炭吸附可達到90%以上），實用遍及（jí），操縱（zòng）簡單，投資低。在吸附飽和以後需要更換新的活性炭，更（gèng）換活性炭需要費用，替換下來的飽和以後的活性炭（tàn）也是需要（yào）找專（zhuān）業（yè）人員進行危廢處理，運行費用高。

（2）燃（rán）燒法

燃（rán）燒法隻在揮（huī）發性有機（jī）物在高（gāo）溫及空氣充足的（de）條件下進行完全燃（rán）燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用於各類（lèi）有機廢氣（qì），可（kě）以分為直接燃燒、熱力（lì）燃燒和催化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃（nóng）度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料（liào）進行燃（rán）燒，燃燒溫度一般控製（zhì）在1100℃，處理效率高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒法適合於處（chù）理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力（lì）燃燒法，廢氣中VOCs濃（nóng）度（dù）較低，需要（yào）借助其他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效（xiào）率高（gāo），但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒後產生的廢氣直接外排會導致二次（cì）汙染（rǎn）。

通過熱力燃燒或者（zhě）催化（huà）燃燒法（fǎ）處（chù）理有（yǒu）機廢氣，其淨化率是比較高的，但是其投資運營成本極（jí）高。因廢氣排放的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需要多套且需要很大（dà）的占地麵積。熱力燃燒比較適合24小時連續（xù）不斷運（yùn）行且濃度較高而穩定的廢氣工況，不適合間斷性的生產（chǎn）產線工況（kuàng）。催化燃燒的投資和運營費用相（xiàng）對熱力燃燒較低，但淨化效率也（yě）相對較低一些；但貴金屬催化劑容易（yì）因為廢氣中的雜質（zhì）（如硫（liú）化物）等造成中毒失效，而更換催化（huà）劑的費用很高；同時（shí）對廢氣進氣條件的控製非常嚴格，否則會造成催化燃燒室（shì）堵塞而引起安（ān）全事故。

（3）UV光解（jiě）淨化法

UV光解淨化法利（lì）用高（gāo）能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生遊離氧（yǎng）（即活性氧），因遊離氧所攜帶正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而（ér）產生臭氧，臭（chòu）氧具有很強（qiáng）的氧（yǎng）化性，通過臭（chòu）氧對有機廢（fèi）氣、惡臭（chòu）氣體（tǐ）進行協同光解氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質降解轉化成低分子（zǐ）化合物、CO2和（hé）H2O。

UV光解淨化法具有高效處理效率，可達到95%以上；適（shì）應性強，可（kě）適應中低濃度（dù），大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物質的淨化處理（lǐ）；產（chǎn）品性（xìng）能穩定，運行穩定可靠，每天可24小時連續工作；運行成本（běn）低，設備耗能低，無需專人管理與維護，隻需（xū）作定期檢查（chá）。UV光解法因采用光（guāng）解原理，模塊采（cǎi）取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性（xìng）能高（gāo），設備性能安全穩定（dìng），特別適用於化工、製（zhì）藥等防爆要求高的行業。

以上關於半導體有機廢氣處（chù）理方法介紹，希望可以幫到您，其實對於半導體有機廢氣（qì）處理，一般是需要根（gēn）據（jù）廢氣的濃度、產生量、廢氣成分、如何（hé）收集等方麵進（jìn）行（háng）設（shè）計收集處理。如果您有半導體有機廢氣需要淨化處（chù）理，可以隨時撥打400 808 2272電話，谘詢天浩洋環保,為您提供半導體有機廢氣處理方案及設備。