首先廢氣經均流板過濾（lǜ）棉進入設備時，由設備高壓穩定高頻放電（diàn），瞬間（jiān）產生1.5萬（wàn）伏特至2萬伏特高壓，擊（jī）穿廢氣。此階段中，長鏈、多鏈廢氣分子由於鍵能較（jiào）弱，約束力較小（xiǎo）。很容易（yì）被（bèi）擊穿化學鍵破裂，從而變成小分子化合物，此為第一（yī）階段淨化。

其次（cì），隨廢氣（qì）進入設備的水分子、氧分子被高壓擊穿斷（duàn）裂，生成強氧化基團羥基、臭氧分子（zǐ）等。這些強氧（yǎng）化基團與（yǔ）廢（fèi）氣分子充分接觸氧化，加快反應進程。整（zhěng）個反應幹淨，能量利用率高，淨化（huà）效率非常高（gāo）。

等離子功（gōng）能段可以激發汙染物能量，促使長鏈、多鏈汙染物（wù）分子（zǐ）的分子鍵斷裂重（chóng）組，使難處理的汙染物降解為較易處（chù）理的低碳（tàn）汙染物。

從（cóng）等離子體反應（yīng）過程可以（yǐ）看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電（diàn）離將能量轉移到汙染物分（fèn）子（zǐ）中去，那些（xiē）獲得能量的汙染（rǎn）物分子被激發，同時（shí）有部分（fèn）分子被電離，從（cóng）而成為活性基團。然後這（zhè）些活性基團與（yǔ）氧氣、活性基團與活性（xìng）基團之間相互（hù）碰撞後生成穩定產物和熱。

另（lìng）外，高能電（diàn）子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物（wù）質俘獲，成為負離子。這類負離子（zǐ）具有很好的化學活性，在化（huà）學反應中起著重要的作用。