首先廢氣經均流板過濾（lǜ）棉（mián）進（jìn）入設（shè）備時，由設備（bèi）高壓穩定（dìng）高頻放電，瞬間產生1.5萬伏特至2萬伏特高壓，擊穿廢氣。此階段中，長鏈、多鏈廢氣分子由於鍵（jiàn）能較弱，約束力較（jiào）小。很容易被擊穿化學鍵（jiàn）破裂（liè），從而變成小分子化合物，此（cǐ）為第一階段淨化。

其次，隨廢氣進（jìn）入設備的水分子、氧分子被高（gāo）壓擊穿斷（duàn）裂，生成強氧化（huà）基團羥基、臭氧（yǎng）分子（zǐ）等（děng）。這（zhè）些（xiē）強氧化基團與廢氣分（fèn）子充分接（jiē）觸氧化，加快反應進程。整個反應幹淨，能量利用率高，淨化效率非常高。

等離子功能段可（kě）以（yǐ）激發汙染物能量，促使長鏈、多鏈汙染物（wù）分子的分子鍵斷裂（liè）重組，使難處理（lǐ）的汙染物降解（jiě）為較易處（chù）理的低碳汙染物。

從等離子體反應過程可（kě）以（yǐ）看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或（huò）電離將能（néng）量轉移到汙（wū）染物分子中去，那些獲（huò）得能量的汙染（rǎn）物分子被激發，同時有部分分子被電離，從（cóng）而成為活性基（jī）團。然後這（zhè）些活性基團與氧氣、活性（xìng）基團與活性基團之間（jiān）相互碰撞後生成穩定產（chǎn）物和熱（rè）。

另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在（zài）化學反應中起著重（chóng）要的作（zuò）用。