首先廢氣經均流板過濾棉進入設備時，由設備高壓穩定高頻（pín）放電，瞬間（jiān）產生1.5萬伏特至2萬伏特高壓，擊穿廢氣。此階段中，長（zhǎng）鏈、多鏈廢氣分子由於鍵能較弱，約束力較小。很容易被（bèi）擊穿（chuān）化學（xué）鍵破裂（liè），從而變（biàn）成小分子化合物，此為第一階段淨化。

其次，隨廢氣進入設備的水（shuǐ）分子、氧分子被高壓擊穿斷裂，生成強（qiáng）氧化基團羥基、臭（chòu）氧分子等（děng）。這些強氧化基團（tuán）與廢氣分子充分接觸氧化，加快反（fǎn）應進程。整個反（fǎn）應幹淨，能量（liàng）利用率高，淨化效（xiào）率（lǜ）非常高。

等離子（zǐ）功能段（duàn）可以激發汙染物能量，促使長鏈、多鏈汙染物分子的分子（zǐ）鍵斷裂重組，使難處理的汙（wū）染物降（jiàng）解為較易處理的低（dī）碳汙染物。

從等離子體反應（yīng）過程可以看出，電子先從電（diàn）場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移（yí）到汙染物分子中去，那些獲得能量的汙染（rǎn）物分子被（bèi）激發，同時有部分分子（zǐ）被電離，從而成為活性基團。然後這些活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間相（xiàng）互碰撞後生（shēng）成（chéng）穩定產物和熱。

另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等（děng）電子親和力較強（qiáng）的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的（de）化學活性，在化學反應中起（qǐ）著重要的作用。