首先廢（fèi）氣經均流板過濾棉（mián）進入設備時，由設備高壓穩定高頻放電（diàn），瞬間產生1.5萬伏特至2萬伏特高壓，擊穿廢氣。此階段中，長鏈、多鏈廢氣分子由於鍵能較弱，約束力較小。很容易被擊穿化學鍵破裂，從而（ér）變成小分子化合物，此（cǐ）為第一階段淨化。

其次，隨廢氣進入設備的水分子、氧分子被高壓擊穿斷（duàn）裂，生成強氧化基團羥基、臭氧分子等。這些強氧化（huà）基團與廢氣分子（zǐ）充（chōng）分（fèn）接觸氧化，加（jiā）快反應進程。整個反應幹淨，能量利用率（lǜ）高，淨化效率非常高。

等離（lí）子功能段可以激發汙染物能量，促使長鏈、多鏈（liàn）汙染物分子的分子鍵斷裂重組，使難處理的汙染物降（jiàng）解為較易處理的低碳汙染物。

從等離子體反應過程可以看出，電子先從電場獲得能量（liàng），通過激發或電離將能量轉移到（dào）汙染物分子中去，那些獲（huò）得能（néng）量（liàng）的汙染物分子被激發（fā），同時有部分分子被電離（lí），從而成為活性基團。然後這些活性基團與氧氣、活（huó）性基團（tuán）與活性基團之間相（xiàng）互碰撞（zhuàng）後生成穩定產物和熱。

另外，高能電子也能被鹵素和（hé）氧氣等電（diàn）子親和力較強的（de）物（wù）質俘獲，成為負離子。這類負離子（zǐ）具（jù）有很（hěn）好的化學活性，在化學反（fǎn）應中起著（zhe）重要的作用。