1.集成電路製造行業廢（fèi）氣簡述

集成電（diàn）路製造行業廢（fèi）氣主要成（chéng）分是揮發性有機物（wù）VOCs。集成電（diàn）路（lù）芯（xīn）片生產過程中使用大量的有機溶劑（jì）如清洗劑（jì）、光刻膠、剝離液、稀釋液等，從而產生（shēng）一定量的VOCs廢氣，不僅（jǐn）造成大氣汙染，還可能會導致廠區環境異味，因（yīn）此進行VOCs廢氣治理，實現達標（biāo）排放。

1.1集成電路製造行業VOCs主要來源

集成電路（lù）製造行業VOCs來（lái）源主要集（jí）中（zhōng）在揮發性有機溶劑的使用（yòng）、載（zǎi）運、儲存。載運過程包括有機（jī）溶劑的原料載入及廢有機溶劑的載出過（guò）程，溶劑儲罐與槽車之間的接口等處有機溶劑揮發。有機溶劑的儲存（cún）主要包括儲罐儲（chǔ）存（cún），化學品桶裝儲存及（jí）瓶裝儲存。有機溶劑儲罐的（de）排氣、儲存過（guò）程中的不密封或意外泄露也是VOCs的來源。

1.2集成電路行業VOCs主要成分

集成電路行業有機廢氣VOC的主要成分為異丙醇和丙酮，此兩項物質占比達VOCs主要成分80%-100 %，其中異丙醇占比55%以上，丙酮占（zhàn）比5%-34%。

2.集成電路行業VOCs廢氣（qì）處理方法

集成電路行（háng）業廢氣主要成分VOCs廢氣，目前對於VOCs廢氣處理方法主要有活性炭（tàn）吸附法、低溫（wēn）等離（lí）子法、燃燒法、UV光解法（fǎ）。

（1）活性炭吸附法

吸（xī）附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、矽膠、分子篩等）來處理有機廢氣，這（zhè）樣就能夠通過化學鍵力或者是分子引力充分吸附（fù）有害成分，並且將其吸附在吸附劑的表麵（miàn），從而達到淨化有機廢氣的目的。吸附法（fǎ）目前主要（yào）應用於大風量、低濃度（≤800mg/m³）、無顆粒物、無（wú）粘性物、常溫的（de）低濃度有機廢氣淨化處理。

活性炭淨化率高（活性炭吸附可達到95%以上），實（shí）用遍及，操縱簡單，投資（zī）低（dī）。在吸（xī）附飽和以後需要更換新的活性炭，更換（huàn）活性炭需要費用，替換下來的飽和以後（hòu）的活性（xìng）炭也（yě）是需要（yào）找專業人員進行危廢處理，運行費用高。

（2）低溫等離子法（fǎ）

低溫等離子法利（lì）用等離子（zǐ）體內部產生富含（hán）極高化學活性的特點，使用高壓放電裝置在放電時（shí）產生高能電子和離子，將空氣中的（de）氧分子進（jìn）行分離，氧分子吸收能量後產生遊離態的氧離子，有機廢氣汙染物與遊離氧基團（tuán）發生反應，最終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到淨化廢氣（qì）的目（mù）的（de）。

此種方法（fǎ）具有適用（yòng）範圍廣（guǎng），淨化效率（lǜ）高，設（shè）備占地麵積小特點，適用於其他方法較難（nán）處理的有機廢氣體；但由於采用高壓放（fàng）電裝置，在含水、含塵、有（yǒu）機廢氣濃度較高的（de）密閉空間易發生爆炸，存在安全隱患，因而限製了其使用。

（3）燃（rán）燒法

燃燒（shāo）法隻在揮發性有（yǒu）機物在高溫及空氣充足的條（tiáo）件下進（jìn）行完全燃燒，分（fèn）解為CO2和H2O。燃燒法適用（yòng）於各類有機廢氣，可以分為直接（jiē）燃燒、熱力燃（rán）燒和催化燃（rán）燒（shāo）。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度廢（fèi）氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒，燃燒（shāo）溫度一（yī）般控（kòng）製在1100℃，處理效率高，可以達到95％-99％。

熱力燃燒法適合於處理濃度在1000-5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其（qí）他燃料或助燃氣體，熱（rè）力燃（rán）燒所需（xū）的溫度較直接燃燒低，大（dà）約為540-820℃。燃燒法處理（lǐ）VOCs廢氣（qì）處理效（xiào）率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒後產（chǎn）生的廢氣直接外（wài）排會導致二次汙染。

通過熱力燃燒或者催化燃燒法處理有機廢氣，其淨化率是比較高（gāo）的，但是其投資運營成本極高。因廢（fèi）氣排放的點多（duō）且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需（xū）要多套且需要很大的占（zhàn）地麵積。熱（rè）力燃燒比較（jiào）適合24小時連續不（bú）斷運行且濃度較高而穩定的廢氣工況，不適合間斷性的生產產線工況。催化（huà）燃燒的投資和運營費用相對熱力燃燒較低，但淨化效率也相對較低一些；但貴金屬催化劑容易因（yīn）為廢氣（qì）中（zhōng）的雜質（zhì）（如硫化物）等造成中毒失效，而更換催化劑的費用很高；同時對廢氣進氣條件的控製非常嚴格，否則會造成催化（huà）燃燒室堵塞而引起安全事故。

（4）UV光解淨化法

UV光解淨化（huà）法（fǎ）利用高能UV紫外線光束（shù）分解空（kōng）氣中的氧分子產生遊離氧（即活性氧），因遊離氧所攜帶（dài）正負電（diàn）子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧具有很強的氧化性（xìng），通過臭（chòu）氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協同光解（jiě）氧化作用，使有（yǒu）機廢氣（qì）、惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解法具有高效處理效率，可達到95%以上；適應（yīng）性強，可（kě）適應中低濃度，大氣量，不（bú）同有（yǒu）機廢氣以及（jí）惡臭氣體物質的淨化處理（lǐ）；產品性能穩定，運（yùn）行穩定可靠，每天可24小時連續工作；運行成本（běn）低本，設備（bèi）耗能低，無需專人管理與維護，隻（zhī）需（xū）作定期檢（jiǎn）查。UV光解法因采用光解原理，模塊（kuài）采取隔爆處理，消除（chú）了安全隱患（huàn），防火（huǒ）、防爆、防腐蝕性能高，設（shè）備性能安全（quán）穩定，特別適用於（yú）采油(氣)田、石（shí）油化工、製藥等防（fáng）爆要求（qiú）高的行業。

以上關於集成電路製造行業廢氣處理方法（fǎ）以（yǐ）及工藝介紹，希望可以幫到您，其實對於集（jí）成電路製造行業廢氣處理，一般是需要（yào）根據（jù）廢（fèi）氣的濃度、產生量、廢氣成分、如何收集等方麵進行（háng）設計。如果您有集（jí）成電路製造行業廢氣處理需要淨化處理，可以（yǐ）隨時撥打400-808-2272 電話，谘詢天浩洋環保,為您提供集成電路製造廢氣處理方（fāng）案及設備（bèi）。