1.平板顯示器製造廢氣簡述

近年（nián）來，智能手機、平板電腦、液晶電視、筆記本電腦等電子產品受益（yì）於（yú）終端消費（fèi）市場需求的持續增長，製造這些產品的平板顯示產業規模不斷壯（zhuàng）大（dà）。平板顯示器是近年來發展較快的高新技（jì）術行業，平板顯示業（yè）已經逐漸成為（wéi）我國國民經濟發展進程中一項必不可少的基（jī）礎性及戰略性產業。平板顯示行業製程過程中需要使用幾百種化學（xué）品，這就間接導致了平板製造業生產過程中的廢氣汙染具有種類（lèi）繁多、組分複雜特點，以及對工廠車間及周邊環境產生嚴（yán）重的影響，因此，必須對平板（bǎn）顯示器製造產生（shēng）廢氣進行淨化處理後，達到大氣汙染物排放要求（qiú）。

1.1 平板顯示器製造廢氣汙染物來（lái）源（yuán）

平板顯示器生產過程按工序劃分為陣列（liè）生產工（gōng）序、彩膜生產工序（xù）、成盒生產工序、有機蒸鍍生產工序（xù）、模組工（gōng）序等。

酸（suān）性廢氣主（zhǔ）要（yào）來自陣列生（shēng）產工序（xù）濕法刻蝕（shí）酸性原料揮發產生（shēng）的廢氣，以及準分子激光退火裝置定（dìng）期排放的介（jiè）質氣體，主要汙染物為HCl、氟化物（wù）等酸霧。

堿（jiǎn）性廢氣主要來自陣列、彩膜（mó）生產工序顯影過程產生（shēng）的堿性揮發（fā）性物質，主要汙染物為NH。

幹法（fǎ）刻蝕和化學（xué）氣相沉積廢氣主要來（lái）自於一些氣體原料在進行幹法刻蝕過程產生（shēng）一定量的反應廢氣和未反應的原料氣，主要汙染物為N0、SiH、NH₃、NF₃、PH₃、BF₂、Cl₂、SF6、CF4、C4F8、、BCl₃。和反應廢氣氟化（huà）物和氯化物等。

有機廢氣主要來自於生（shēng）產過程中有機原材料中有機氣體的揮發，主（zhǔ）要汙染物非甲烷總烴。

2.平板顯示器製造廢氣處理方法

平板顯示器製造生產過程產生廢氣主要為酸性廢（fèi）氣、堿性廢氣、幹法刻蝕和化學（xué）氣相沉積廢氣、有機廢氣，對於這些廢氣（qì）處理方法（fǎ）有哪些呢？接下來，天浩洋環保小編詳細介紹平板顯示（shì）器製造廢氣處（chù）理方法。

2.1 酸性廢氣處（chù）理方法

酸性廢氣主要汙染物為（wéi）HCl、HF、氮氧化物等。該類（lèi）廢氣主要使用（yòng）氫氧化鈉（nà）濕式填料洗滌塔進行酸堿中（zhōng）和淨化處理，洗滌液（yè）選擇濃度為4%的氫氧化鈉溶液，廢氣經洗滌塔酸堿中和處理後（hòu），達到國家排放標準後排放。

2.2 堿性廢氣處理（lǐ）方（fāng）法

堿性廢氣主（zhǔ）要廢（fèi）氣汙染物為NH₃。該類廢氣主要是用硫酸濕式填料洗滌塔進行酸堿中和淨（jìng）化處理，洗滌液選擇濃度4%的硫（liú）酸溶液，廢氣經洗滌塔酸堿中和處理後，達到國家排放標準後排放。

2.3 幹法刻蝕和化（huà）學氣相沉（chén）積廢氣處（chù）理方法

幹法刻蝕和化學氣相沉積廢（fèi）氣汙（wū）染（rǎn）物主要為SO₂、HCl、氟化物、NOx、NH₃、Cl₂等，該類廢（fèi）氣經過堿性濕式（shì）填料洗滌塔酸堿中和淨化處理，洗（xǐ）滌液（yè）選擇濃度（dù）為4%的NaOH和（hé）NaHSO₃溶液，淨化後廢氣通過排（pái）氣筒高空排放。

2.4 有機廢氣處理方法

有（yǒu）機廢氣（qì）主要汙染物非甲烷總烴。該類（lèi）廢氣主要處（chù）理方法有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解淨化法，下麵詳細介紹非甲烷總（zǒng）烴廢氣處理方法。

（1）活性（xìng）炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、矽膠、分子篩等（děng））來處理有機廢氣，這（zhè）樣就能夠通過化學鍵（jiàn）力或者是分子引力充分吸附有害成分，並且將（jiāng）其吸附（fù）在吸（xī）附劑的（de）表（biǎo）麵，從而（ér）達到淨化有機廢氣的目的。吸附法（fǎ）目（mù）前主要應用於大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒（lì）物、無粘性物、常溫的低濃度有機廢氣淨化處理。

活性炭淨化率高（gāo）（活性炭吸附可達到90%以上），實用遍及，操縱簡單，投資低。在吸附飽和以後需要更換新的活性炭，更換活性炭需要（yào）費用，替換下（xià）來（lái）的飽和以後的活（huó）性炭（tàn）也是（shì）需要找（zhǎo）專業人員進行危廢處理，運行費用高。

（2）燃燒法

燃燒法隻在揮發性有機物在高溫（wēn）及空氣充足的條件下進行完（wán）全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用於各類有機廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃（nóng）度（dù）大（dà）於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用直（zhí）接燃燒法（fǎ），該方法將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒，燃燒溫度一般控製在1100℃，處理效率高，可以達到（dào）95％一99％。

熱力燃燒法適合（hé）於處（chù）理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處（chù）理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒後產生的廢氣直接外排會導致二次（cì）汙染。

通過熱力燃燒或者（zhě）催化燃燒法處理有機廢氣，其淨（jìng）化率是比（bǐ）較高的，但是其（qí）投資運營成本極高。因廢氣排放的點多且分散，很難實（shí）現集中（zhōng）收集。燃燒裝置（zhì）需要多套且需要很大的占地麵積。熱力燃燒（shāo）比較適合24小時連續不斷運行（háng）且濃度較高而穩定的廢氣工況，不適合間斷性的生（shēng）產產線工況。催化燃燒的投資和（hé）運營費（fèi）用相對熱力（lì）燃燒較低，但淨化效率也相對（duì）較低一（yī）些；但貴金屬催化劑容易因為廢氣中（zhōng）的雜質（如硫化物）等造成中毒失效（xiào），而更換催化劑的費（fèi）用很高；同時對廢氣進氣條件的控製非常（cháng）嚴格，否（fǒu）則會造（zào）成催化燃燒室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解淨化法

UV光解淨化法利用高能（néng）UV紫外線光束分解空氣（qì）中的（de）氧分子（zǐ）產生（shēng）遊（yóu）離氧（即活（huó）性氧），因遊離氧所攜帶正負電子不平衡所以需與（yǔ）氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧具有很強的氧化性，通過臭氧（yǎng）對（duì）有機廢氣、惡臭氣體進（jìn）行協同光解氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質（zhì）降解轉化成低分子化（huà）合物、CO2和H2O。

UV光解（jiě）淨化（huà）法具（jù）有高效處理效率，可達到95%以上；適應性強，可適應中低濃度，大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物質的淨化（huà）處理；產品性能穩定，運行穩定可靠，每（měi）天可24小時連續工作；運行成本低，設備耗能低，無需專人管理與維護，隻需作定期檢查。UV光解（jiě）法因采用光解原理，模塊采（cǎi）取隔爆（bào）處理，消除了安（ān）全隱患，防火、防爆（bào）、防腐蝕性能高（gāo），設備性能安（ān）全穩定，特別適用於化工、製藥等防爆要求高的行業。

以（yǐ）上關於平板顯示器製造廢氣處理方法介紹，希望可以幫到您，其實對（duì）於平板（bǎn）顯示器製造廢氣處理，一般（bān）是需要根據廢氣（qì）的濃度、產生量、廢氣成（chéng）分、如何收集等方麵進行設計收集處理。如果您有平板顯示器製造廢氣需要淨化處理，可以隨時（shí）撥打400 808 2272電話，谘詢天浩洋環保,為您提供平板顯示器製造廢氣處理方案及設備。